画像処理システム開発(光学検査装置)/茨城勤務【N257】〇
評価システム製品本部 光学応用システム設計部にて光学検査装置の信号・画像処理システムの
開発をお任せいたします。
●変更の範囲:会社の定める業務
<詳細>
●弊社開発中の半導体検査装置では、取得した画像や多次元のデータに基づき、
サーバーとネットワークで構成した画像処理システムにて欠陥検出を行います。
画像処理システムには半導体の微細化に対応して、高速・高感度な検査が求められています。
高感度化・高速化の実現には、統計や数値計算による欠陥検出アルゴリズムの開発や、
機械学習やAIによる画像分類、並列コンピューティング技術を駆使した高速分散処理が必要となります。
●画像処理ハードウェアの故障検知や保守性向上により、システムの稼働率を向上させる技術開発も行っております。
検査を実現する画像処理システム構築は装置開発で重要な位置を占めるポジションとなります。
【開発環境】
開発下記のいずれかについて経験していることが望ましい。
開発プラットフォーム:
・OS: Linux, Windows
・複数台のサーバをラックに搭載した画像処理システムの設計
- 並列プログラミング
- ネットワーク技術
- 処理時間、メモリ帯域の見積
言語:
・C, C#, Perl, Bash, Python
・MPIやOpenMP、AVXを活用した高速画像処理
・TensorFlowによる機械学習(深層学習)を用いた画像分類
【担当装置例】
●当社は半導体検査装置において電子線やレーザーなどを使用した精密な表面検査技術を持っており、当部署ではこのうち特に光学のコア技術をもとにした次世代検査装置の開発を担っています。
光を使用することによりスピーディな検査が可能となるため、半導体製造工程においてなくてはならない装置の一つとなっています。
◆暗視野式ウェーハ欠陥検査装置(DIシリーズ)◆
暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800
回路パターン付きシリコンウェーハ上に存在する異物や欠陥を検査する装置です。レーザーを当てて散乱光を検知し、ウェーハ上にある異物(ごみ)や様々な欠陥(パターン形成不良等)を高感度かつ高速に検査します。ラインセンサにて取得した2次元画像を処理し、正常パターンから欠陥のみを高精度に検出することができます。
◆ウェーハ表面検査装置(LSシリーズ)◆
ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ
パターンのない鏡面シリコンウェーハ上に存在する異物や欠陥を検査する装置です。レーザーを当てて散乱光を検知し、パターンを形成する前のウェーハ上にある異物(ごみ)や様々な欠陥(段差等)を高感度かつ高速に検査します。最新モデルのLS9300は従来よりも高感度の検査を実現し、技術革新賞も受賞するなど、各方面から高い評価を受けています。これの装置により、半導体デバイスの歩留まり改善に大きく貢献しています。
